Micromachining and microfabrication process technology 11 : 25 January 2006 : San Jose, California, USA. : Jan 2006, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 6109)

Micromachining and microfabrication process technology 11 : 25 January 2006 : San Jose, California, USA. : Jan 2006, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 6109)

国立国会図書館請求記号: M17-06-1214
国立国会図書館書誌ID: 000008168241

資料種別: 図書

著者: Perez-Maher, Mary Ann.ほか

出版者: SPIE

出版年: c2006.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819461512
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Micromachining and microfabrication process technology 11 : 25 January 2006 : San Jose, California, USA. : Jan 2006, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 6109
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 6109.
著者標目: Perez-Maher, Mary Ann.
Stewart, Harold D.
Chiao, Jung-Chih.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2006.
出版年（W3CDTF）: 2006
数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Micromachining -- Congresses.
Microfabrication -- Congresses.
Electromechanical devices -- Design and construction -- Congresses.
Online resources.
LCC: QC176.8.M5
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-06-1214
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000008168241
http://id.ndl.go.jp/bib/000008168241
RLIN番号: CUBGGLAD152052356-B
整理区分コード: 215