Novel fabrication processes for semiconductor devices and electronic components by using subcritical water and supercritical carbon dioxide

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Novel fabrication processes for semiconductor devices and electronic components by using subcritical water and supercritical carbon dioxide
• 著者・編者: Kiyoyuki Morita [著]
• 著者標目: 森田, 清之 モリタ, キヨユキ
• 出版事項: [Kiyoyuki Morita]
• 出版年月日等: 2006
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 亜臨界水や超臨界二酸化炭素を用いた新規半導体デバイス・電子部品製造プロセスの研究 アリンカイスイ ヤ チョウリンカイ ニサンカ タンソ オ モチイタ シンキ ハンドウタイ デバイス デンシ ブヒン セイゾウ プロセス ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成18年3月24日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2006
• 報告番号: 甲第11237号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2006-F217
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008215248; http://id.ndl.go.jp/bib/000008215248
• 整理区分コード: 213