スパッタリングにより作製した窒化チタン薄膜の機械的特性とその高機能化に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: スパッタリングにより作製した窒化チタン薄膜の機械的特性とその高機能化に関する研究
• タイトルよみ: スパッタリング ニ ヨリ サクセイシタ チッカ チタン ハクマク ノ キカイテキ トクセイ ト ソノ コウキノウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 田邉裕貴 [著]
• 著者標目: 田邉, 裕貴 タナベ, ヒロタカ
• 出版事項: [田邉裕貴]
• 出版年月日等: [2006]
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成18年1月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2006
• 報告番号: 乙第9145号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2006-F360
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008215368; http://id.ndl.go.jp/bib/000008215368
• 整理区分コード: 213