スパッタリングにより作製した窒化チタン薄膜の機械的特性とその高機能化に関する研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: スパッタリングにより作製した窒化チタン薄膜の機械的特性とその高機能化に関する研究
Title Transcription: スパッタリングニヨリサクセイシタチッカチタンハクマクノキカイテキトクセイトソノコウキノウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 田邉裕貴 [著]
Author Heading: 田邉, 裕貴タナベ, ヒロタカ
Publication, Distribution, etc.: [田邉裕貴]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成18年1月26日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 乙第9145号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-F360
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008215368
http://id.ndl.go.jp/bib/000008215368
Bibliographic Record Category (NDL): 213