新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立
• タイトルよみ: シン コウソク アツデン アクチュエータ ノ チョウセイミツ ハンドウタイ プロセス エノ オウヨウ ト ゲンシ スケール セイサン ギジュツ ノ カクリツ
• 著者・編者: 小坂光二 [著]
• 著者標目: 小坂, 光二 コサカ, コウジ
• 出版事項: [小坂光二]
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 熊本大学
• 授与年月日: 平成17年9月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第277号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2006-F890
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008222747; http://id.ndl.go.jp/bib/000008222747
• 整理区分コード: 213