新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立

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Material Type: 博士論文
Title: 新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立
Title Transcription: シンコウソクアツデンアクチュエータノチョウセイミツハンドウタイプロセスエノオウヨウトゲンシスケールセイサンギジュツノカクリツ
Author/Editor: 小坂光二 [著]
Author Heading: 小坂, 光二コサカ, コウジ
Publication, Distribution, etc.: [小坂光二]
Publication Date: 2005
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 熊本大学
Date Granted: 平成17年9月26日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第277号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-F890
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008222747
http://id.ndl.go.jp/bib/000008222747
Bibliographic Record Category (NDL): 213