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目次
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第1章 無機膜の製造プロセス
1 PVD法/ 2
1.1 真空蒸着法/ 2
1.1.1 薄膜形成の素過程と真空の関係/ 3
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-88231-569-6
- タイトル
- タイトルよみ
- キノウセイ ムキマク ノ セイゾウ ト オウヨウ
- 著者・編者
- 新無機膜研究会 編上條榮治 監修
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2006.6
- 出版年（W3CDTF）
- 2006
- 数量
- 305p