EMLC 2006 : 22nd European mask and lithography conference : 23-26 January 2006 : Dresden, Germany. : EMLC2006 : Jan 2006, Dresden, Germany. (SPIE Proceedings ; 6281)

EMLC 2006 : 22nd European mask and lithography conference : 23-26 January 2006 : Dresden, Germany. : EMLC2006 : Jan 2006, Dresden, Germany.

(SPIE Proceedings ; 6281)

国立国会図書館請求記号: M17-06-2179
国立国会図書館書誌ID: 000008270206

資料種別: 図書

著者: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2006.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Selected papers."It has annually brought together scientists, (...) " -- foreword.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819463566
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: EMLC 2006 : 22nd European mask and lithography conference : 23-26 January 2006 : Dresden, Germany. : EMLC2006 : Jan 2006, Dresden, Germany.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 6281
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 6281.
著者標目: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)
Behringer, Uwe F. W.
European Mask and Lithography Conference (22nd : 2006 : Dresden, Germany)
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2006.
出版年（W3CDTF）: 2006
数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Integrated circuits -- Masks -- Congresses.
Microlithography -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Selected papers.
"It has annually brought together scientists, (...) " -- foreword.
書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-06-2179
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000008270206
http://id.ndl.go.jp/bib/000008270206
RLIN番号: MOHG70780606-B
整理区分コード: 215