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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / T. Makabe, Z. Petrović. (Series in plasma physics)

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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / T. Makabe, Z. Petrović.

(Series in plasma physics)

国立国会図書館請求記号
MC241-B7
国立国会図書館書誌ID
000008301783
資料種別
図書
著者
真壁, 利明, 1947-ほか
出版者
Taylor & Francis
出版年
2006.
資料形態
ページ数・大きさ等
339 p. : ill. ; 25 cm.
NDC
-
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
9780750309769 (ISBN-13 : hardcover)
0750309768 (ISBN-10 : hardcover)
シリーズタイトル
著者標目
真壁, 利明, 1947- マカベ, トシアキ, 1947- ( 00162951 )典拠
出版年月日等
2006.
出版年(W3CDTF)
2006
数量
339 p. : ill. ; 25 cm.
出版地(国名コード)
US