Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / T. Makabe, Z. Petrović.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780750309769 (ISBN-13 : hardcover); 0750309768 (ISBN-10 : hardcover)
• タイトル: Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / T. Makabe, Z. Petrović.
• シリーズタイトル: Series in plasma physics
• 著者標目: 真壁, 利明, 1947- マカベ, トシアキ, 1947- ( 00162951 )典拠; Petrović, Z.
• 出版事項: New York : Taylor & Francis
• 出版年月日等: 2006.
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 339 p. : ill. ; 25 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Plasma engineering.
• LCC: TA2020
• DDC: 621.044
• NDLC: MC241
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC241-B7
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008301783; http://id.ndl.go.jp/bib/000008301783
• LC control number: 2005056888; https://lccn.loc.gov/2005056888
• RLIN番号: DCLC2005056888-B
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211