Thin film materials technology : sputtering of compound materials / by Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0815514832 (William Andrew Inc. : alk. paper); 3540211187 (Springer-Verlag GmbH & Co. KG)
• タイトル: Thin film materials technology : sputtering of compound materials / by Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi.
• 著者標目: 和佐, 清孝 ワサ, キヨタカ ( 00130622 )典拠; Kitabatake, Makoto. [北畠真]; Adati, Hideaki. [足立秀明]
• 出版事項: Norwich, NY : W. Andrew Pub.; Heidelberg : Springer
• 出版年月日等: c2004.
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: xiv, 518 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Adachi, Hideaki. [足立秀明]
• 件名標目: Cathode sputtering (Plating process); Thin films.
• LCC: TS695
• DDC: 621.3815/2
• NDLC: ND371
• 一般注記: Related URL: Table of contents only http: //www.loc.gov/catdir/toc/ecip047/2003018016.html.; Related URL: Publisher description http: //www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0632/2003018016-d.html.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B19
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008311222; http://id.ndl.go.jp/bib/000008311222
• LC control number: 2003018016; https://lccn.loc.gov/2003018016
• RLIN番号: DCLC2003018016-B
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 211