ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

国立国会図書館請求記号: Y151-H14205026
国立国会図書館書誌ID: 000008316224

資料種別: 図書

著者: 渡邉純二, 熊本大学 [著]

出版者: [渡邉純二]

出版年: 2002-2004

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 188p

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
タイトル: ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究
タイトルよみ: ナノグレードソシキバンノリソウヒョウメンケイセイギジュツノケンキュウ
著者・編者: 渡邉純二, 熊本大学 [著]
著者標目: 渡邉, 純二, 1942- ワタナベ, ジュンジ, 1942- ( 00983963 )典拠
熊本大学クマモトダイガク ( 00260061 )典拠
出版事項: [渡邉純二]
出版年月日等: 2002-2004
2006.3
出版年（W3CDTF）: 2002
2004
数量: 188p
その他のタイトル: 研究種目基盤研究(A)
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 紫外光照射研磨装置 / TiO_2固体光触媒 / 紫外光線 / ダイヤモンド単結晶 / SiC単結晶 / 酸化膜 / XPS分析 / 研磨加工シガイコウショウシャケンマソウチ / TiO_2 コタイヒカリショクバイ / シガイコウセン / ダイヤモンドタンケッショウ / SiC タンケッショウ / サンカマク / XPS ブンセキ / ケンマカコウ
NDLC: Y151
一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 14205026
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H14205026
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000008316224
http://id.ndl.go.jp/bib/000008316224
整理区分コード: 214