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ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

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ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H14205026
国立国会図書館書誌ID
000008316224
資料種別
図書
著者
渡邉純二, 熊本大学 [著]
出版者
[渡邉純二]
出版年
2002-2004
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
188p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究
タイトルよみ
ナノグレード ソシ キバン ノ リソウ ヒョウメン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
著者・編者
渡邉純二, 熊本大学 [著]
著者標目
渡邉, 純二, 1942- ワタナベ, ジュンジ, 1942- ( 00983963 )典拠
熊本大学 クマモト ダイガク ( 00260061 )典拠
出版事項
[渡邉純二]
出版年月日等
2002-2004
2006.3
出版年（W3CDTF）
2002
2004
数量
188p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)