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ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

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ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

Call No. (NDL)
Y151-H14205026
Bibliographic ID of National Diet Library
000008316224
Material type
図書
Author
渡邉純二, 熊本大学 [著]
Publisher
[渡邉純二]
Publication date
2002-2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
188p
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究
Title Transcription
ナノグレード ソシ キバン ノ リソウ ヒョウメン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
Author/Editor
渡邉純二, 熊本大学 [著]
Author Heading
渡邉, 純二, 1942- ワタナベ, ジュンジ, 1942- ( 00983963 )Authorities
熊本大学 クマモト ダイガク ( 00260061 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[渡邉純二]
Publication Date
2002-2004
2006.3
Publication Date (W3CDTF)
2002
2004
Extent
188p
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)