ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究

Call No. (NDL): Y151-H14205026
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008316224

Material type: 図書

Author: 渡邉純二, 熊本大学 [著]

Publisher: [渡邉純二]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 188p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: ナノグレード素子基板の理想表面形成技術の研究
Title Transcription: ナノグレードソシキバンノリソウヒョウメンケイセイギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 渡邉純二, 熊本大学 [著]
Author Heading: 渡邉, 純二, 1942- ワタナベ, ジュンジ, 1942- ( 00983963 )Authorities
熊本大学クマモトダイガク ( 00260061 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [渡邉純二]
Publication Date: 2002-2004
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 188p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 紫外光照射研磨装置 / TiO_2固体光触媒 / 紫外光線 / ダイヤモンド単結晶 / SiC単結晶 / 酸化膜 / XPS分析 / 研磨加工シガイコウショウシャケンマソウチ / TiO_2 コタイヒカリショクバイ / シガイコウセン / ダイヤモンドタンケッショウ / SiC タンケッショウ / サンカマク / XPS ブンセキ / ケンマカコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14205026
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14205026
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008316224
http://id.ndl.go.jp/bib/000008316224
Bibliographic Record Category (NDL): 214