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大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化

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大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化

国立国会図書館請求記号
Y151-H16560285
国立国会図書館書誌ID
000008318774
資料種別
図書
著者
鹿間共一, 高松工業高等専門学校 [著]
出版者
[鹿間共一]
出版年
2004-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
37枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タイキアツ テイオン プラズマ オ モチイタ ZnO ハクマク ニ オケル セイマク ソクド ノ コウソクカ
著者・編者
鹿間共一, 高松工業高等専門学校 [著]
著者標目
鹿間, 共一 シカマ, トモカズ
高松工業高等専門学校 タカマツ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ
出版事項
出版年月日等
2004-2005
2006.6
出版年(W3CDTF)
2004
2005
数量
37枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)