大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化

大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化

Call No. (NDL): Y151-H16560285
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008318774

Material type: 図書

Author: 鹿間共一, 高松工業高等専門学校 [著]

Publisher: [鹿間共一]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 37枚

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: 大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜における成膜速度の高速化
Title Transcription: タイキアツテイオンプラズマオモチイタ ZnO ハクマクニオケルセイマクソクドノコウソクカ
Author/Editor: 鹿間共一, 高松工業高等専門学校 [著]
Author Heading: 鹿間, 共一シカマ, トモカズ
高松工業高等専門学校タカマツコウギョウコウトウセンモンガッコウ
Publication, Distribution, etc.: [鹿間共一]
Publication Date: 2004-2005
2006.6
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 37枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 大気圧低温プラズマ / 酸化亜鉛 / 結晶粒径タイキアツテイオンプラズマ / サンカアエン / ケッショウリュウケイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560285
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560285
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008318774
http://id.ndl.go.jp/bib/000008318774
Bibliographic Record Category (NDL): 214