低エネルギー放射光による薄膜界面近傍の残留応力測定

• 資料種別: 図書
• タイトル: 低エネルギー放射光による薄膜界面近傍の残留応力測定
• タイトルよみ: テイエネルギー ホウシャコウ ニ ヨル ハクマク カイメン キンボウ ノ ザンリュウ オウリョク ソクテイ
• 著者・編者: 大谷眞一, 秋田貢一, 武蔵工業大学 [著]
• 著者標目: 大谷, 眞一 オオヤ, シンイチ; 秋田, 貢一 アキタ, コウイチ; 武蔵工業大学 ムサシ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [大谷眞一]
• 出版年月日等: 2003-2005; 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2005
• 数量: 47枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜 / 残留応力 / シンクロトロン放射光 / X線応力測定 / 界面エネルギー ハクマク / ザンリュウ オウリョク / シンクロトロン ホウシャコウ / Xセン オウリョク ソクテイ / カイメン エネルギー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560083
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560083
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008323776; http://id.ndl.go.jp/bib/000008323776
• 整理区分コード: 214