低エネルギー放射光による薄膜界面近傍の残留応力測定

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Material Type: 図書
Title: 低エネルギー放射光による薄膜界面近傍の残留応力測定
Title Transcription: テイエネルギーホウシャコウニヨルハクマクカイメンキンボウノザンリュウオウリョクソクテイ
Author/Editor: 大谷眞一, 秋田貢一, 武蔵工業大学 [著]
Author Heading: 大谷, 眞一オオヤ, シンイチ
秋田, 貢一アキタ, コウイチ
武蔵工業大学ムサシコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [大谷眞一]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 47枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 薄膜 / 残留応力 / シンクロトロン放射光 / X線応力測定 / 界面エネルギーハクマク / ザンリュウオウリョク / シンクロトロンホウシャコウ / Xセンオウリョクソクテイ / カイメンエネルギー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560083
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560083
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008323776
http://id.ndl.go.jp/bib/000008323776
Bibliographic Record Category (NDL): 214