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ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究

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ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H15360022
国立国会図書館書誌ID
000008326085
資料種別
図書
著者
浅野種正, 九州工業大学 [著]
出版者
[浅野種正]
出版年
2003-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノ インプリント ギジュツ ニ ヨル シリコン ハクマク ノ ケッショウ イチ ト ホウイ セイギョ ノ ケンキュウ
著者・編者
浅野種正, 九州工業大学 [著]
著者標目
浅野, 種正, 1953- アサノ, タネマサ, 1953- ( 00188011 )典拠
九州工業大学 キュウシュウ コウギョウ ダイガク ( 00632907 )典拠
出版事項
出版年月日等
2003-2005
2006.3
出版年(W3CDTF)
2003
2005
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)