ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究

Call No. (NDL): Y151-H15360022
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008326085

Material type: 図書

Author: 浅野種正, 九州工業大学 [著]

Publisher: [浅野種正]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究
Title Transcription: ナノインプリントギジュツニヨルシリコンハクマクノケッショウイチトホウイセイギョノケンキュウ
Author/Editor: 浅野種正, 九州工業大学 [著]
Author Heading: 浅野, 種正, 1953- アサノ, タネマサ, 1953- ( 00188011 )Authorities
九州工業大学キュウシュウコウギョウダイガク ( 00632907 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [浅野種正]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 多結晶シリコン / 薄膜トランジスタ / ナノインプリント / 結晶粒位置制御 / 単一結晶粒トランジスタ / TFT回路 / 金属誘起固相結晶化 / レーザー結晶化タケッショウシリコン / ハクマクトランジスタ / ナノインプリント / ケッショウリュウイチセイギョ / タンイツケッショウリュウトランジスタ / TFT カイロ / キンゾクユウキコソウケッショウカ / レーザーケッショウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360022
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360022
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008326085
http://id.ndl.go.jp/bib/000008326085
Bibliographic Record Category (NDL): 214