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超平滑化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

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超平滑化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

国立国会図書館請求記号
Y151-H15206085
国立国会図書館書誌ID
000008338138
資料種別
図書
著者
東谷公, 京都大学 [著]
出版者
[東谷公]
出版年
2003-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チョウヘイカツカ チョウセンジョウ プロセッシング ニ オケル ブンシ オーダ キバン ギジュツ ノ カクリツ
著者・編者
東谷公, 京都大学 [著]
著者標目
東谷, 公 ヒガシタニ, コウ
京都大学 キョウト ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2005
2006.6
出版年(W3CDTF)
2003
2005
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)