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超平滑化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

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超平滑化・超洗浄プロセッシングにおける分子オーダ基盤技術の確立

Call No. (NDL)
Y151-H15206085
Bibliographic ID of National Diet Library
000008338138
Material type
図書
Author
東谷公, 京都大学 [著]
Publisher
[東谷公]
Publication date
2003-2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウヘイカツカ チョウセンジョウ プロセッシング ニ オケル ブンシ オーダ キバン ギジュツ ノ カクリツ
Author/Editor
東谷公, 京都大学 [著]
Author Heading
東谷, 公 ヒガシタニ, コウ
京都大学 キョウト ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003-2005
2006.6
Publication Date (W3CDTF)
2003
2005
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)