超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用
• タイトルよみ: チョウコガタ 3ジゲン ナノ カコウ ケイソク システム ノ カイハツ ト ナノスケール ゾウケイ エ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 森田昇, 富山大学 [著]
• 著者標目: 森田, 昇 モリタ, ノボル; 富山大学 トヤマ ダイガク
• 出版事項: [森田昇]
• 出版年月日等: 2004-2005; 2006.5
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2005
• 数量: 47枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 摩擦力顕微鏡 / 3次元微細加工 / 加工用カンチレバー / CVD / フォトリソグラフィー マサツリョク ケンビキョウ / 3 ジゲン ビサイ カコウ / カコウヨウ カンチレバー / CVD / フォトリソグラフィー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16360064
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16360064
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008339830; http://id.ndl.go.jp/bib/000008339830
• 整理区分コード: 214