超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用

• Material Type: 図書
• Title: 超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用
• Title Transcription: チョウコガタ 3ジゲン ナノ カコウ ケイソク システム ノ カイハツ ト ナノスケール ゾウケイ エ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 森田昇, 富山大学 [著]
• Author Heading: 森田, 昇 モリタ, ノボル; 富山大学 トヤマ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [森田昇]
• Publication Date: 2004-2005; 2006.5
• Publication Date (W3CDTF): 2004; 2005
• Extent: 47枚
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 摩擦力顕微鏡 / 3次元微細加工 / 加工用カンチレバー / CVD / フォトリソグラフィー マサツリョク ケンビキョウ / 3 ジゲン ビサイ カコウ / カコウヨウ カンチレバー / CVD / フォトリソグラフィー
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360064
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H16360064
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008339830; http://id.ndl.go.jp/bib/000008339830
• Bibliographic Record Category (NDL): 214