超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用

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Material Type: 図書
Title: 超小型3次元ナノ加工・計測システムの開発とナノスケール造形への応用
Title Transcription: チョウコガタ 3ジゲンナノカコウケイソクシステムノカイハツトナノスケールゾウケイエノオウヨウ
Author/Editor: 森田昇, 富山大学 [著]
Author Heading: 森田, 昇モリタ, ノボル
富山大学トヤマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [森田昇]
Publication Date: 2004-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 47枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 摩擦力顕微鏡 / 3次元微細加工 / 加工用カンチレバー / CVD / フォトリソグラフィーマサツリョクケンビキョウ / 3 ジゲンビサイカコウ / カコウヨウカンチレバー / CVD / フォトリソグラフィー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360064
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360064
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008339830
http://id.ndl.go.jp/bib/000008339830
Bibliographic Record Category (NDL): 214