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第1章 スパッタリング薄膜の成膜現場で発生する問題，原因，対策手法
第1節 スパッタリング法の原理，成膜過程を理解する/ 3
1. スパッタリング現象/ 3
1.1 スパッタリングとは/ 3
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関東
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 549.95-116
- 図書登録番号：
- 81275091
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-86104-125-2
- タイトルよみ
- オプトエレクトロニクス ブンヤ オ チュウシン ト シタ スパッタリングホウ ニ ヨル ハクマク サクセイ セイギョ ギジュツ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2006.10
- 出版年（W3CDTF）
- 2006
- 数量
- 346p
- 大きさ
- 27cm
- 出版地（国名コード）
- JP