MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: MEMS用薄膜金属ガラスとその三次元立体加工の研究
• タイトルよみ: MEMSヨウ ハクマク キンゾク ガラス ト ソノ サンジゲン リッタイ カコウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 下河辺明, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 下河辺, 明 シモコウベ, アキラ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [下河辺明]
• 出版年月日等: 2003-2005; 2006.5
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2005
• 数量: 102p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス / マイクロアクチュエータ / 物性 / アークプラズマ MEMS / ビサイ カコウ / ハクマク / アモルファス / キンゾク ガラス / マイクロアクチュエータ / ブッセイ / アークプラズマ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15206015
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15206015
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008343820; http://id.ndl.go.jp/bib/000008343820
• 整理区分コード: 214