干渉露光と斜入射X線多重露光を併用したフォトニック結晶の形成に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 干渉露光と斜入射X線多重露光を併用したフォトニック結晶の形成に関する研究
• タイトルよみ: カンショウ ロコウ ト シャニュウシャ Xセン タジュウ ロコウ オ ヘイヨウシタ フォトニック ケッショウ ノ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 小野雄三, 立命館大学 [著]
• 著者標目: 小野, 雄三 オノ, ユウゾウ; 立命館大学 リツメイカン ダイガク
• 出版事項: [小野雄三]
• 出版年月日等: 2003-2005; 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2005
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: フォトニック結晶 / 干渉露光 / X線露光 / リソグラフィー / ホログラフィック フォトニック ケッショウ / カンショウ ロコウ / Xセン ロコウ / リソグラフィー / ホログラフィック
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560038
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560038
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008344728; http://id.ndl.go.jp/bib/000008344728
• 整理区分コード: 214