干渉露光と斜入射X線多重露光を併用したフォトニック結晶の形成に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 干渉露光と斜入射X線多重露光を併用したフォトニック結晶の形成に関する研究
Title Transcription: カンショウロコウトシャニュウシャ Xセンタジュウロコウオヘイヨウシタフォトニックケッショウノケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小野雄三, 立命館大学 [著]
Author Heading: 小野, 雄三オノ, ユウゾウ
立命館大学リツメイカンダイガク
Publication, Distribution, etc.: [小野雄三]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: フォトニック結晶 / 干渉露光 / X線露光 / リソグラフィー / ホログラフィックフォトニックケッショウ / カンショウロコウ / Xセンロコウ / リソグラフィー / ホログラフィック
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560038
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560038
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008344728
http://id.ndl.go.jp/bib/000008344728
Bibliographic Record Category (NDL): 214