基板との界面の制御によるMBE成長単結晶SiC平滑面の高精度化

• 資料種別: 図書
• タイトル: 基板との界面の制御によるMBE成長単結晶SiC平滑面の高精度化
• タイトルよみ: キバン ト ノ カイメン ノ セイギョ ニ ヨル MBE セイチョウ タンケッショウ SiC ヘイカツメン ノ コウセイドカ
• 著者・編者: 角田陽, 首都大学東京 (東京都立大学) [著]
• 著者標目: 角田, 陽 カクタ, アキラ; 首都大学東京 シュト ダイガク トウキョウ; 東京都立大学 トウキョウ トリツ ダイガク
• 出版事項: [角田陽]
• 出版年月日等: 2004-2005; 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2005
• 数量: 3, 67p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 分子線エピタキシ / 炭化ケイ素 / 平滑面 ブンシセン エピタキシ / タンカ ケイソ / ヘイカツメン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16560097
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16560097
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008345068; http://id.ndl.go.jp/bib/000008345068
• 整理区分コード: 214