基板との界面の制御によるMBE成長単結晶SiC平滑面の高精度化

基板との界面の制御によるMBE成長単結晶SiC平滑面の高精度化

Call No. (NDL): Y151-H16560097
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008345068

Material type: 図書

Author: 角田陽, 首都大学東京 (東京都立大学) [著]

Publisher: [角田陽]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 3, 67p

NDC: -

Notes on use

Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 図書
Title: 基板との界面の制御によるMBE成長単結晶SiC平滑面の高精度化
Title Transcription: キバントノカイメンノセイギョニヨル MBE セイチョウタンケッショウ SiC ヘイカツメンノコウセイドカ
Author/Editor: 角田陽, 首都大学東京 (東京都立大学) [著]
Author Heading: 角田, 陽カクタ, アキラ
首都大学東京シュトダイガクトウキョウ
東京都立大学トウキョウトリツダイガク
Publication, Distribution, etc.: [角田陽]
Publication Date: 2004-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 3, 67p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 分子線エピタキシ / 炭化ケイ素 / 平滑面ブンシセンエピタキシ / タンカケイソ / ヘイカツメン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560097
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560097
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008345068
http://id.ndl.go.jp/bib/000008345068
Bibliographic Record Category (NDL): 214