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クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

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クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H15360189
国立国会図書館書誌ID
000008364990
資料種別
図書
著者
榊原建樹, 豊橋技術科学大学 [著]
出版者
[榊原建樹]
出版年
2003-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
クリーン キンゾク アーク プラズマ オ モチイタ コウソク ドライ ハイセン ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
榊原建樹, 豊橋技術科学大学 [著]
著者標目
榊原, 建樹 サカキバラ, タテキ
豊橋技術科学大学 トヨハシ ギジュツ カガク ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2005
2006.3
出版年(W3CDTF)
2003
2005
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)