クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

Call No. (NDL): Y151-H15360189
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008364990

Material type: 図書

Author: 榊原建樹, 豊橋技術科学大学 [著]

Publisher: [榊原建樹]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発
Title Transcription: クリーンキンゾクアークプラズマオモチイタコウソクドライハイセンギジュツノカイハツ
Author/Editor: 榊原建樹, 豊橋技術科学大学 [著]
Author Heading: 榊原, 建樹サカキバラ, タテキ
豊橋技術科学大学トヨハシギジュツカガクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [榊原建樹]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: Cu配線 / ドライプロセス / 真空アーク蒸着 / 磁気輸送フィルタードアーク / T-FAD / マルチソースガン / プラズマスキャナー / 大面積成膜 Cu ハイセン / ドライプロセス / シンクウアークジョウチャク / ジキユソウフィルタードアーク / T-FAD / マルチソースガン / プラズマスキャナー / ダイメンセキセイマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360189
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360189
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008364990
http://id.ndl.go.jp/bib/000008364990
Bibliographic Record Category (NDL): 214