反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
• タイトルよみ: ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ
• 著者・編者: 坪井望, 新潟大学 [著]
• 著者標目: 坪井, 望 ツボイ, ノゾム; 新潟大学 ニイガタ ダイガク
• 出版事項: [坪井望]
• 出版年月日等: 2004-2005; 2006.5
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2005
• 数量: 22, 16枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: デラフォサイト / CuAlO_2 / 透明導電性酸化物 / p形酸化物 / 薄膜 / 反応性スパッタ / スパッタ / レーザアニール デラフォサイト / CuAlO_2 / トウメイ ドウデンセイ サンカブツ / pケイ サンカブツ / ハクマク / ハンノウセイ スパッタ / スパッタ / レーザアニール
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16560270
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16560270
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008366859; http://id.ndl.go.jp/bib/000008366859
• 整理区分コード: 214