反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

Call No. (NDL): Y151-H16560270
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008366859

Material type: 図書

Author: 坪井望, 新潟大学 [著]

Publisher: [坪井望]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 22, 16枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
Title Transcription: ハンノウセイスパッタホウニヨルトウメイ pガタドウデンセイサンゲンサンカブツノハクマクサクセイトヒョウカ
Author/Editor: 坪井望, 新潟大学 [著]
Author Heading: 坪井, 望ツボイ, ノゾム
新潟大学ニイガタダイガク
Publication, Distribution, etc.: [坪井望]
Publication Date: 2004-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 22, 16枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: デラフォサイト / CuAlO_2 / 透明導電性酸化物 / p形酸化物 / 薄膜 / 反応性スパッタ / スパッタ / レーザアニールデラフォサイト / CuAlO_2 / トウメイドウデンセイサンカブツ / pケイサンカブツ / ハクマク / ハンノウセイスパッタ / スパッタ / レーザアニール
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560270
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560270
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008366859
http://id.ndl.go.jp/bib/000008366859
Bibliographic Record Category (NDL): 214