光触媒効果を重畳した高温メカノケミカルポリシング法に関する研究 : パワーデバイス用SiC単結晶の高能率・高精度ポリシング技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光触媒効果を重畳した高温メカノケミカルポリシング法に関する研究 : パワーデバイス用SiC単結晶の高能率・高精度ポリシング技術の開発
• タイトルよみ: ヒカリ ショクバイ コウカ オ チョウジョウシタ コウオン メカノケミカル ポリシングホウ ニ カンスル ケンキュウ : パワー デバイスヨウ SiC タンケッショウ ノ コウノウリツ コウセイド ポリシング ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 安永暢男, 東海大学 [著]
• 著者標目: 安永, 暢男, 1942- ヤスナガ, ノブオ, 1942- ( 00219710 )典拠; 東海大学 トウカイ ダイガク ( 00261483 )典拠
• 出版事項: [安永暢男]
• 出版年月日等: 2004-2005; 2006.5
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2005
• 数量: 17枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: SiC単結晶 / メカノケミカルポリシング / 高温ポリシング / Fe203砥粒 / TiO2砥粒 / 光触媒効果 SiC タンケッショウ / メカノケミカルポリシング / コウオン ポリシング / Fe203 トリュウ / TiO2 トリュウ / ヒカリ ショクバイ コウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16560099
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16560099
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008366937; http://id.ndl.go.jp/bib/000008366937
• 整理区分コード: 214