光触媒効果を重畳した高温メカノケミカルポリシング法に関する研究 : パワーデバイス用SiC単結晶の高能率・高精度ポリシング技術の開発

Call No. (NDL): Y151-H16560099
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008366937

Material type: 図書

Author: 安永暢男, 東海大学 [著]

Publisher: [安永暢男]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 17枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 光触媒効果を重畳した高温メカノケミカルポリシング法に関する研究 : パワーデバイス用SiC単結晶の高能率・高精度ポリシング技術の開発
Title Transcription: ヒカリショクバイコウカオチョウジョウシタコウオンメカノケミカルポリシングホウニカンスルケンキュウ : パワーデバイスヨウ SiC タンケッショウノコウノウリツコウセイドポリシングギジュツノカイハツ
Author/Editor: 安永暢男, 東海大学 [著]
Author Heading: 安永, 暢男, 1942- ヤスナガ, ノブオ, 1942- ( 00219710 )Authorities
東海大学トウカイダイガク ( 00261483 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [安永暢男]
Publication Date: 2004-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 17枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: SiC単結晶 / メカノケミカルポリシング / 高温ポリシング / Fe203砥粒 / TiO2砥粒 / 光触媒効果 SiC タンケッショウ / メカノケミカルポリシング / コウオンポリシング / Fe203 トリュウ / TiO2 トリュウ / ヒカリショクバイコウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560099
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560099
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008366937
http://id.ndl.go.jp/bib/000008366937
Bibliographic Record Category (NDL): 214