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ナノ・マイクロ加工における「可加工性」評価手法とそのインプリント加工への適用

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ナノ・マイクロ加工における「可加工性」評価手法とそのインプリント加工への適用

国立国会図書館請求記号
Y151-H16560094
国立国会図書館書誌ID
000008374540
資料種別
図書
著者
稲村豊四郎, 名古屋工業大学 [著]
出版者
[稲村豊四郎]
出版年
2004-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
38枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノ マイクロ カコウ ニ オケル カカコウセイ ヒョウカ シュホウ ト ソノ インプリント カコウ エ ノ テキヨウ
著者・編者
稲村豊四郎, 名古屋工業大学 [著]
著者標目
稲村, 豊四郎 イナムラ, トヨシロウ
名古屋工業大学 ナゴヤ コウギョウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2005
2006.5
出版年(W3CDTF)
2004
2005
数量
38枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)