ナノ・マイクロ加工における「可加工性」評価手法とそのインプリント加工への適用

Call No. (NDL): Y151-H16560094
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008374540

Material type: 図書

Author: 稲村豊四郎, 名古屋工業大学 [著]

Publisher: [稲村豊四郎]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 38枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ナノ・マイクロ加工における「可加工性」評価手法とそのインプリント加工への適用
Title Transcription: ナノマイクロカコウニオケルカカコウセイヒョウカシュホウトソノインプリントカコウエノテキヨウ
Author/Editor: 稲村豊四郎, 名古屋工業大学 [著]
Author Heading: 稲村, 豊四郎イナムラ, トヨシロウ
名古屋工業大学ナゴヤコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [稲村豊四郎]
Publication Date: 2004-2005
2006.5
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 38枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 分子動力学 / インプリント加工 / ナノリソグラフィー / 濡れ性 / 粘性 / 繰り込み / シミュレーション / ナノテクノロジーブンシドウリョクガク / インプリントカコウ / ナノリソグラフィー / ヌレセイ / ネンセイ / クリコミ / シミュレーション / ナノテクノロジー
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16560094
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16560094
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008374540
http://id.ndl.go.jp/bib/000008374540
Bibliographic Record Category (NDL): 214