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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ カガク キソウ タイセキ プロセス ニ オケル コウシュウハ ヘンチョウ ニ ヨル ビリュウシ オセン テイゲン
- 著者・編者
- 柏原伸紀 [著]
- 著者標目
- 柏原, 伸紀 カシハラ, ノブキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2005]
- 出版年（W3CDTF）
- 2005
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Suppression of particle contamination by amplitude-modulated radio frequency in a plasma enhanced chemical vapor deposition process