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マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

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マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

国立国会図書館請求記号
Y151-H15204053
国立国会図書館書誌ID
000008381340
資料種別
図書
著者
菅井秀郎, 名古屋大学 [著]
出版者
[菅井秀郎]
出版年
2003-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロハタイ ノ ダイメンセキ ホウデン ニ ヨル ジャイアント プラズマ プロセス ノ ソウシュツ
著者・編者
菅井秀郎, 名古屋大学 [著]
著者標目
菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2005
2006.3
出版年(W3CDTF)
2003
2005
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)