マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

Call No. (NDL): Y151-H15204053
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008381340

Material type: 図書

Author: 菅井秀郎, 名古屋大学 [著]

Publisher: [菅井秀郎]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出
Title Transcription: マイクロハタイノダイメンセキホウデンニヨルジャイアントプラズマプロセスノソウシュツ
Author/Editor: 菅井秀郎, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 菅井, 秀郎スガイ, ヒデオ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [菅井秀郎]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: マイクロ波放電 / 表面波プラズマ / 大面積プラズマ / スロットアンテナ / 太陽電池 / 液晶ディスプレイ / 微結晶シリコン / シリコン酸化マイクロハホウデン / ヒョウメンハプラズマ / ダイメンセキプラズマ / スロットアンテナ / タイヨウデンチ / エキショウディスプレイ / ビケッショウシリコン / シリコンサンカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15204053
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15204053
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008381340
http://id.ndl.go.jp/bib/000008381340
Bibliographic Record Category (NDL): 214