4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

• 資料種別: 図書
• タイトル: 4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
• タイトルよみ: 4ゾク ハンドウタイ ゴクビサイ プロセス ニ ムケタ コソウ ハンノウ ノ ダイナミクス セイギョ ト C エンジニアリング
• 著者・編者: 財満鎭明, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )典拠; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク ( 00260057 )典拠
• 出版事項: [財満鎭明]
• 出版年月日等: 2003-2005; 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2005
• 数量: 149p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: シリコン / カーボン / ニッケル / シリサイド / 界面物性 / 表面物性 / コンタクト / 走査トンネル顕微鏡 シリコン / カーボン / ニッケル / シリサイド / カイメン ブッセイ / ヒョウメン ブッセイ / コンタクト / ソウサ トンネル ケンビキョウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15206004
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15206004
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008381355; http://id.ndl.go.jp/bib/000008381355
• 整理区分コード: 214