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4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

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4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

国立国会図書館請求記号
Y151-H15206004
国立国会図書館書誌ID
000008381355
資料種別
図書
著者
財満鎭明, 名古屋大学 [著]
出版者
[財満鎭明]
出版年
2003-2005
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
149p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
タイトルよみ
4ゾク ハンドウタイ ゴクビサイ プロセス ニ ムケタ コソウ ハンノウ ノ ダイナミクス セイギョ ト C エンジニアリング
著者・編者
財満鎭明, 名古屋大学 [著]
著者標目
著者 ： 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )典拠
名古屋大学 ナゴヤ ダイガク ( 00260057 )典拠
出版事項
[財満鎭明]
出版年月日等
2003-2005
2006.3
出版年（W3CDTF）
2003
2005
数量
149p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)