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図書
4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
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4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
国立国会図書館請求記号
Y151-H15206004
国立国会図書館書誌ID
000008381355
資料種別
図書
著者
財満鎭明, 名古屋大学 [著]
出版者
[財満鎭明]
出版年
2003-2005
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
149p
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
タイトルよみ
4ゾク ハンドウタイ ゴクビサイ プロセス ニ ムケタ コソウ ハンノウ ノ ダイナミクス セイギョ ト C エンジニアリング
著者・編者
財満鎭明, 名古屋大学 [著]
著者標目
著者 :
財満, 鎭明
ザイマ, シゲアキ (
01210828
)
典拠
名古屋大学
ナゴヤ ダイガク (
00260057
)
典拠
出版事項
[財満鎭明]
出版年月日等
2003-2005
2006.3
出版年(W3CDTF)
2003
2005
数量
149p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
シリコン / カーボン / ニッケル / シリサイド / 界面物性 / 表面物性 / コンタクト / 走査トンネル顕微鏡
シリコン / カーボン / ニッケル / シリサイド / カイメン ブッセイ / ヒョウメン ブッセイ / コンタクト / ソウサ トンネル ケンビキョウ
NDLC
Y151
一般注記
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
15206004
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H15206004
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000008381355
http://id.ndl.go.jp/bib/000008381355
整理区分コード
214
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