4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング

Call No. (NDL): Y151-H15206004
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008381355

Material type: 図書

Author: 財満鎭明, 名古屋大学 [著]

Publisher: [財満鎭明]

Publication date: 2003-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 149p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 4族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
Title Transcription: 4ゾクハンドウタイゴクビサイプロセスニムケタコソウハンノウノダイナミクスセイギョト C エンジニアリング
Author/Editor: 財満鎭明, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 著者：財満, 鎭明ザイマ, シゲアキ ( 01210828 )Authorities
名古屋大学ナゴヤダイガク ( 00260057 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [財満鎭明]
Publication Date: 2003-2005
2006.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2005
Extent: 149p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: シリコン / カーボン / ニッケル / シリサイド / 界面物性 / 表面物性 / コンタクト / 走査トンネル顕微鏡シリコン / カーボン / ニッケル / シリサイド / カイメンブッセイ / ヒョウメンブッセイ / コンタクト / ソウサトンネルケンビキョウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15206004
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15206004
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008381355
http://id.ndl.go.jp/bib/000008381355
Bibliographic Record Category (NDL): 214