複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

国立国会図書館請求記号: Y151-H16360006
国立国会図書館書誌ID: 000008381763

資料種別: 図書

著者: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]

出版者: [田渕雅夫]

出版年: 2004-2005

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1冊

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
タイトル: 複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析
タイトルよみ: フクザツナコウゾウオモツハンドウタイタソウハクマクノ Xセン CTR サンランホウニヨルカイセキ
著者・編者: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]
著者標目: 田渕, 雅夫タブチ, マサオ
名古屋大学ナゴヤダイガク
出版事項: [田渕雅夫]
出版年月日等: 2004-2005
2006.4
出版年（W3CDTF）: 2004
2005
数量: 1冊
その他のタイトル: 研究種目基盤研究(B)
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
eng
件名標目: X線CTR散乱 / 複雑な多層構造の解析 / 回折測定の簡便な高速化 / 回折測定の簡便な高精度化 / 2次元検出器 / 1次元検出器 / 装置調整法の確立 Xセン CTR サンラン / フクザツナタソウコウゾウノカイセキ / カイセツソクテイノカンベンナコウソクカ / カイセツソクテイノカンベンナコウセイドカ / 2 ジゲンケンシュツキ / 1 ジゲンケンシュツキ / ソウチチョウセイホウノカクリツ
NDLC: Y151
一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 16360006
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H16360006
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000008381763
http://id.ndl.go.jp/bib/000008381763
整理区分コード: 214