複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析

Call No. (NDL): Y151-H16360006
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008381763

Material type: 図書

Author: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]

Publisher: [田渕雅夫]

Publication date: 2004-2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 複雑な構造を持つ半導体多層薄膜のX線CTR散乱法による解析
Title Transcription: フクザツナコウゾウオモツハンドウタイタソウハクマクノ Xセン CTR サンランホウニヨルカイセキ
Author/Editor: 田渕雅夫, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 田渕, 雅夫タブチ, マサオ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [田渕雅夫]
Publication Date: 2004-2005
2006.4
Publication Date (W3CDTF): 2004
2005
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: X線CTR散乱 / 複雑な多層構造の解析 / 回折測定の簡便な高速化 / 回折測定の簡便な高精度化 / 2次元検出器 / 1次元検出器 / 装置調整法の確立 Xセン CTR サンラン / フクザツナタソウコウゾウノカイセキ / カイセツソクテイノカンベンナコウソクカ / カイセツソクテイノカンベンナコウセイドカ / 2 ジゲンケンシュツキ / 1 ジゲンケンシュツキ / ソウチチョウセイホウノカクリツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 16360006
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H16360006
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008381763
http://id.ndl.go.jp/bib/000008381763
Bibliographic Record Category (NDL): 214