博士論文

SiウエハとJohnsen-Rahbek型静電チャック間に作用する静電気力におよぼす誘電体抵抗率と表面粗さの影響の研究

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SiウエハとJohnsen-Rahbek型静電チャック間に作用する静電気力におよぼす誘電体抵抗率と表面粗さの影響の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2006-P225
国立国会図書館書誌ID
000008417822
資料種別
博士論文
著者
菅野誠一郎 [著]
出版者
[菅野誠一郎]
出版年
[2005]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
Si ウエハ ト Johnsen - Rahbek ガタ セイデン チャックカン ニ サヨウスル セイデンキリョク ニ オヨボス ユウデンタイ テイコウリツ ト ヒョウメン アラサ ノ エイキョウ ノ ケンキュウ
著者・編者
菅野誠一郎 [著]
著者標目
菅野, 誠一郎 カンノ, セイイチロウ
出版事項
出版年月日等
[2005]
出版年(W3CDTF)
2005
数量
1冊
授与機関名
東北大学