SiウエハとJohnsen-Rahbek型静電チャック間に作用する静電気力におよぼす誘電体抵抗率と表面粗さの影響の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: SiウエハとJohnsen-Rahbek型静電チャック間に作用する静電気力におよぼす誘電体抵抗率と表面粗さの影響の研究
• Title Transcription: Si ウエハ ト Johnsen - Rahbek ガタ セイデン チャックカン ニ サヨウスル セイデンキリョク ニ オヨボス ユウデンタイ テイコウリツ ト ヒョウメン アラサ ノ エイキョウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 菅野誠一郎 [著]
• Author Heading: 菅野, 誠一郎 カンノ, セイイチロウ
• Publication, Distribution, etc.: [菅野誠一郎]
• Publication Date: [2005]
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成17年9月14日
• Date Granted (W3CDTF): 2005
• Dissertation Number: 甲第10542号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2006-P225
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008417822; http://id.ndl.go.jp/bib/000008417822
• Bibliographic Record Category (NDL): 213