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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- フルオロカーボン プラズマ ニ ヨル シリコン サンカマク エッチング ヒョウメン ハンノウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 石川健治 [著]
- 著者標目
- 石川, 健治 イシカワ, ケンジ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2006]
- 出版年(W3CDTF)
- 2006
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Surface reactions during silicon oxide etching using fluorocarbon plasma