フルオロカーボンプラズマによるシリコン酸化膜エッチング表面反応解析に関する研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: フルオロカーボンプラズマによるシリコン酸化膜エッチング表面反応解析に関する研究
Title Transcription: フルオロカーボンプラズマニヨルシリコンサンカマクエッチングヒョウメンハンノウカイセキニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 石川健治 [著]
Author Heading: 石川, 健治イシカワ, ケンジ
Publication, Distribution, etc.: [石川健治]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Alternative Title: Surface reactions during silicon oxide etching using fluorocarbon plasma
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成18年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 甲第10868号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-P547
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008418631
http://id.ndl.go.jp/bib/000008418631
Bibliographic Record Category (NDL): 213