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博士論文
半導体デバイスの化学的機械研磨に関する研究
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半導体デバイスの化学的機械研磨に関する研究
国立国会図書館請求記号
UT51-2006-P552
国立国会図書館書誌ID
000008418636
資料種別
博士論文
著者
平林英明 [著]
出版者
[平林英明]
出版年
[2006]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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博士論文
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書誌情報を出力
紙
資料種別
博士論文
タイトル
半導体デバイスの化学的機械研磨に関する研究
タイトルよみ
ハンドウタイ デバイス ノ カガクテキ キカイ ケンマ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
平林英明 [著]
著者標目
平林, 英明
ヒラバヤシ, ヒデアキ
出版事項
[平林英明]
出版年月日等
[2006]
出版年(W3CDTF)
2006
数量
1冊
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成18年3月24日
授与年月日(W3CDTF)
2006
報告番号
甲第10873号
学位
博士 (工学)
学位論文注記
博士論文
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
NDLC
UT51
一般注記
博士論文
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
UT51-2006-P552
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000008418636
http://id.ndl.go.jp/bib/000008418636
整理区分コード
213
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