半導体デバイスの化学的機械研磨に関する研究

半導体デバイスの化学的機械研磨に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2006-P552
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008418636

Material type: 博士論文

Author: 平林英明 [著]

Publisher: [平林英明]

Publication date: [2006]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 半導体デバイスの化学的機械研磨に関する研究
Title Transcription: ハンドウタイデバイスノカガクテキキカイケンマニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 平林英明 [著]
Author Heading: 平林, 英明ヒラバヤシ, ヒデアキ
Publication, Distribution, etc.: [平林英明]
Publication Date: [2006]
Publication Date (W3CDTF): 2006
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成18年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 2006
Dissertation Number: 甲第10873号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-P552
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008418636
http://id.ndl.go.jp/bib/000008418636
Bibliographic Record Category (NDL): 213