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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- レーザ ショウシャ ニ ヨル シリコン ノ ジョキョ ヘンケイ セツゴウ
- 著者・編者
- 細野高史 [著]
- 著者標目
- 細野, 高史 ホソノ, タカシ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2006]
- 出版年（W3CDTF）
- 2006
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Removal, deformation and bonding processing of silicon by laser irradiation